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超臨界流體干燥技術有一個顯著的特點就是在干燥過程中（即脫除水或其它溶劑的過程）由于重新建立CO2與被脫除物質的相平衡關系，可以將殘存的被脫除溶劑移出材料。同時，因超臨界條件下不存在表面張力，即干燥被干燥物料不存在因毛細管表面張力作用而導致的微觀結構的改變。

超臨界干燥技術具有如下優點：

1、可以在溫和的溫度下進行，故特別適用與熱敏性物料的干燥；

2、能夠有效的溶解而抽取大相對分子質量、高沸點難揮發物質；

3、通過改變操作條件能夠有效得把有機溶劑從固體物料中脫除出去。

超臨界干燥設備是利用超臨界流體的特殊性質而開發的一種新型的干燥方法。超臨界干燥設備主要由：氣源系統、制冷系統、流量控制系統、溫度控制系統、壓力控制調節系統、干燥裝置、分離裝置、電腦控制系統及電氣控制、支架箱體等組成。

超臨界干燥設備首選二氧化碳作為干燥凝膠的介質進行超臨界干燥，這是由于二氧化碳的臨界溫度接近于室溫，且無毒、不易燃易爆，可使干燥時間進一步縮短，操作費用大幅度降低。超臨界干燥設備常用的干燥介質主要有甲醇、乙醇等有機醇類物質和二氧化碳，這是為什么選擇二氧化碳作為干燥介質的原因。